氦質譜檢漏儀為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀是怎樣檢漏的呢？

市面上有各種檢漏儀器，最常見的載氣有氮氣、氫氣、氦氣等。氦氣檢漏大家想必都聽說過，那么氦質譜檢漏儀是怎樣檢漏的呢？氦質譜檢漏儀檢漏是如何操作的呢？ 為此，量化檢測總結了常見的氦質譜檢漏儀檢漏的六種方法。

氦質譜檢漏儀檢漏方法的六大方法：

1. 噴氦/噴槍法;真空測漏法是業內經常使用的一種檢漏方法, 廣泛應用于精密儀器, 真空釬焊, 壓力容器等行業；

2. 吸槍法/正壓法；氦質譜檢漏正壓吸槍法主要應用于大容積高壓密閉容器產品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。

3. 真空累積測漏法；

4. 背壓法；背壓法氦質譜檢測優點：檢測靈敏度高；可以進行批量化檢測；

5. 真空累積法；

6. 常壓吸槍累積法：常壓吸槍累積法廣泛應用于航空航天領域；

任何儀器在制作過程中難免會遇到密封不嚴的情況，某些不重要的設備中輕微的泄露沒有太大關系，但是在半導體器件、集成電路等重要電氣設備及高端儀器中，良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要！同樣，選擇專業的氦氣檢漏檢測公司也是非常關鍵的！

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